포토리소그래피1 반도체 포토리소그래피란? 원리와 공정 과정 쉽게 이해하기 반도체 포토리소그래피란? 반도체 제조에서 가장 중요한 **포토리소그래피(Photolithography)** 공정에 대해 알아보겠습니다.1. 반도체 포토리소그래피란?포토리소그래피(Photolithography)는 반도체 칩을 제조하는 과정에서 미세한 회로 패턴을 웨이퍼에 형성하는 핵심 공정입니다.이 기술을 통해 반도체 소자의 크기를 나노미터(nm) 단위로 미세화할 수 있으며, 성능 향상과 집적도 증가를 가능하게 합니다.🔹 포토리소그래피의 핵심 원리빛(광원)을 이용하여 웨이퍼에 패턴을 새기는 기술특수 감광물질인 포토레지스트(Photoresist)를 활용노광(Lithography), 현상(Develop), 식각(Etching) 과정을 거쳐 원하는 회로 형성2. 포토리소그래피 공정 과정① 웨이퍼 세척 및 포토.. 2025. 3. 7. 이전 1 다음