반도체euv1 반도체 EUV란? 원리와 공정 과정 쉽게 이해하기 반도체 EUV란? 원리와 공정 과정 쉽게 이해하기 반도체 제조에서 필수적인 EUV(Extreme Ultraviolet) 노광 공정의 원리와 역할을 알아보겠습니다. 1. 반도체 EUV란? EUV(Extreme Ultraviolet) 리소그래피는 반도체 제조 공정에서 **파장이 13.5nm인 극자외선(EUV)을 이용해 초미세 회로를 새기는 기술**입니다. 기존의 DUV(Deep Ultraviolet) 리소그래피보다 더 짧은 파장을 사용하여 **5nm 이하의 초미세 반도체 공정**이 가능해졌습니다. 🔹 EUV 공정의 주요 특징 기존 공정보다 훨씬 미세한.. 2025. 3. 8. 이전 1 다음