반도체공정안전3 반도체 공정에서 사용되는 화학물질과 안전한 처리 방법 반도체 공정에서 사용되는 화학물질과 안전한 처리 방법 반도체 제조 과정에서는 다양한 화학물질이 사용되며, 이들의 안전한 처리는 환경 보호와 작업자 안전을 위해 필수적입니다. 이번 글에서는 반도체 공정에서 사용되는 주요 화학물질과 이를 안전하게 처리하는 방법을 살펴보겠습니다. 1. 반도체 공정에서 사용되는 주요 화학물질 반도체 제조 과정에서는 웨이퍼 세정, 식각, 증착 등 다양한 공정에서 여러 가지 화학물질이 사용됩니다. ✔ 1) 웨이퍼 세정 공정에서 사용되는 화학물질 황산(H₂SO₄) – 유기물 제거 및 세정 불산(HF) – 실리콘 산화막 제거 과산화수.. 2025. 2. 20. 반도체 공장에서의 정전기(ESD) 관리 기술과 보호 시스템 반도체 공장에서의 정전기(ESD) 관리 기술과 보호 시스템 반도체 제조 과정에서 정전기 방전(ESD, Electrostatic Discharge)은 제품의 불량률을 높이고 생산 수율을 저하시킬 수 있는 주요 원인 중 하나입니다. 이번 글에서는 반도체 공장에서의 정전기 발생 원인과 효과적인 정전기 방지 시스템을 살펴보겠습니다. 1. 정전기(ESD)란 무엇인가? 정전기(ESD, Electrostatic Discharge)는 두 개의 물체 간 전하의 불균형이 해소되면서 급격하게 전하가 이동하는 현상을 의미합니다. 반도체 제조 공정에서 정전기는 매우 위험한 요소이며, **회로 손상, 제품 불량, 장비 오작동** 등의 문제를 초래할 .. 2025. 2. 19. 반도체 생산 과정에서 발생하는 유해 물질과 환경 규제 대응 방안 반도체 생산 과정에서 발생하는 유해 물질과 환경 규제 대응 방안 반도체 산업은 첨단 기술 발전을 이끄는 핵심 산업이지만, 생산 과정에서 다양한 유해 물질이 배출됩니다. 이번 글에서는 반도체 제조 공정에서 발생하는 유해 물질과 환경 규제, 그리고 친환경 대응 방안을 살펴보겠습니다. 1. 반도체 제조 과정에서 발생하는 유해 물질 반도체 제조는 여러 복잡한 공정을 거치며, 이 과정에서 다양한 유해 물질이 발생합니다. ✔ 1) 불화가스(PFCs, Perfluorinated Compounds) 불화가스는 웨이퍼 식각(Etching) 및 세정 과정에서 사용되며, **지구온난화 효과가 이산화탄소(CO₂)의 10,000배 이상.. 2025. 2. 18. 이전 1 다음